Unternehmensbeschreibung

Wir unterstützen Unternehmen mit anwendungsorientierter Forschung und Entwicklung in der Mechatronik, Mikroelektronik und Systemtechnik bei Innovationen für Industrie, Gesundheit und Umwelt durch Forschungstransfer und Entwicklungsdienstleistungen von der Machbarkeitsstudien bis zur Serienreife.

Produktbeschreibung

6D-Nanometer-Planar-Positioniersystem für hochpräzise Positionierung mit großem Bewegungsbereich



Die in allen 6 Raumrichtungen geregelten Antriebskräfte wirken direkt auf das gleiche bewegliche Teil.



Ø 200 mm planarer Bewegungsbereich

25 mm vertikaler Verfahrbereich

100 mm/s maximale Geschwindigkeit

250 mm/s² maximale Beschleunigung

5 kg maximale Nutzlast

< 1 Nanometer Nachführfehler

Wir suchen

F&E-Partnerschaften im Bereich Hochpräzisionsantriebe für Inspektion und Analyse, Halbleiter- und Medizintechnik, Präzisionsbearbeitung und Mehrkoordinatenmesstechnik mit nm- und sub-nm-Präzision.

Wir bieten

• Konzeptstudien und Dimensionierung für elektromagnetische Antriebe • Realisierung und Charakterisierung von Antriebssystemen • Control Engineering auf eigener und auf Kunden-Hardware